Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
Saburo Nonogaki (Author), Ueno Takumi (Author), Toshio Ito (Author)"Explores the science and technology of lithographic processes and resist materials and summarizes the most recent innovations in semiconductor manufacturing. Considers future trends in lithography and resist material technology. Reviews the interaction of light, electron beams, and X-rays with resist materials."
Категории:
Год:
1998
Издание:
1
Издательство:
CRC Press
Язык:
english
ISBN 10:
1351822020
ISBN 13:
9781482273762
Файл:
PDF, 28.09 MB
IPFS:
,
english, 1998
Amazon 
Barnes & Noble 
Bookshop.org
Хотите добавить книжный магазин? Свяжитесь с нами по support@z-lib.do
Конвертируйте файлы
Больше результатов поиска
Другие преимущества 
